“Magnetron Sputtering” ulgamy
Içerki magnitron tüýdük örtük enjamy esasan DC (ýa-da MF) magnitron tüýdük örtügi, köp sanly nyşana uýgunlaşdyrylyp bilner, mysal üçin: mis, titanium, hrom, poslamaýan polat, nikel we tüýkürmek prosesi bilen örtülip bilinýän beýleki metal materiallar. filmiň ýelmeşmegini, köpelmegini, dykyzlygyny, birmeňzeşligini we beýleki aýratynlyklaryny gowulandyryp biler.
- a.Esasy aýratynlyklary we parametrleri
- b.keseligine çyzyk gurluşy bir tarapa örtülen bir wagtda amala aşyrylyp bilner
- c.önümçilik netijeliligi, 1 minut / urga çenli iň çalt tizlik
- d.modully dizaýn, aňsat tehniki hyzmat
- e.örtük prosesi kämillik, ýokary hasyl
- f.DC magnetron tüýdük katodlary müşderiniň talaplaryna baglylykda üýtgäp biler
- g.vakuum ulgamy mehaniki nasosdan, kök nasoslaryndan, diffuziýa nasoslaryndan (molekulýar nasos) düzüminden durýar
- sag.Çyzygyň göwrümi müşderiniň talaplaryna baglylykda üýtgäp biler
- 1) Wakuum kamerasynyň beden materiallary, vakuum kamerasynyň diwaryny bejermek, daşarky diwar pürküji monjuklary gaýtadan işlemek SUS304 ulanyldy.
- 2) Wakuum kamerasynyň arasynda özbaşdak derwezäniň klapanyny ulanmak - flapper klapany biri-birinden aýryp, iş gazyny netijeli kesip, durnuklaşdyryp biler.Häzirki wagtda kompaniýamyz flapper klapan dizaýnyny kabul edýär, häzirki içerki umumy flap klapanyndan has gowy, has berk möhürlenýär.
- 3) Geçiriş magnit gollanmasyny ulanýar, sürüjiniň durnuklylygyny goraýar.VVVF hereketlendirijisini ulanyp, ähli önümçilik liniýasynyň her tizligi üçin işleýiş tizligini sazlap bolýar.
- 4) Elektrik dolandyryş ulgamy: Duýgur ekran we PLC awtomatiki dolandyryş, maglumat görkeziş ulgamyna, iş parametrlerine we dolandyryş tehnologiýasyna ýetmek üçin adam-maşyn gepleşikleri.
- 1) Iň soňky vakuum basyşy: 6 × 1 0E-4 Pa
- 2) ortaça önümçilik sikli: kesgitlenen önüme görä
- 3) Substrat eýesiniň ululygy: talaplaryna laýyklykda düzülip bilner
- 4) Filmiň birmeňzeşligi: mobile 3% ösen ykjam meýdan tehnologiýasy maksatly ulanylyşy ep-esli ýokarlandyrdy
- Bölünen gyzdyryjy dizaýn, optimizasiýa üçin amatly.
Habaryňyzy şu ýere ýazyň we bize iberiň
