Alýumin aýnasy Inline Magnetron Sputtering Line aýna aýna öndürmek maksady bilen ýokary öndürijilik üçin niýetlenendir.Has uly aýna örtmek we döwük aýna paneli barada alada etmek üçin, esasanam uly göwrümli listler üçin, adatça keseligine çyzyk görnüşini ýasaýarys.Öň we yzky gödek nasos kamerasy bilen we geçiş kamerasyndan soň, inçe nasos kamerasyndan öň we soň, bufer kamerasy, reňkli örtük otagy bilen üznüksiz magnitron örtük çyzygy.
Maksat d esign: silindr görnüşli magnetron tüýdük katodlary ýa-da / we planar katodlar.
Kuwwat çeşmesi: ýokary güýçli DC ýa-da MF magnitron tüýdügi bilen elektrik üpjünçiligi
Sürüji ulgamy: rolikli hereketlendiriji, ýygylygy sazlap bolýan, induksiýa görnüşli otagyň gapysyny açmak ulgamy.
Wakuum ulgamy: diffuziýa nasosy (ýa-da turbo molekulýar nasosy) + kök nasosy + mehaniki nasos