ARC-500-iň esasy aýratynlyklary çalt aýlaw wagty, amatly işlemek we amatly bahada ulanyjylara dostluk.Dört sany ýokary öndürijilikli katod arkasynyň bugarmak katodlary bar.Örtük dünýäsine girmek isleýän ýa-da maşynlar toparyna çalt pes sesli PVD ulgamyny goşmak isleýän müşderiler üçin iň amatly saýlaw.
Ulanylýan tehnologiýalar:
Katod arkasynyň bugarmagy katodlary
Üstünlikleri:
Targetokary maksatly peýdalanmak
Depokary depozit derejesi
Çalt katod alyş-çalşygy
• Umumy gurluş: Dik gapy, keseligine öň gapy, yzky vakuum nasos ulgamy
• Materiallar: Çukur ýokary hilli SUS304 poslamaýan polatdan ýasaldy
• Ion ark çeşmesi: Enjamyň ululygyna görä köp sanly tok üpjünçiligi bilen enjamlaşdyrylan
• Iki taraplaýyn elektrik üpjünçiligi: powerokary kuwwatly bir basgançakly impuls ikitaraplaýyn elektrik üpjünçiligi bilen enjamlaşdyrylan
• Köp ýaýly nyşanlar: Titan ýa-da poslamaýan polatdan ýasalan köp sanly maksat
• Aýlanma ulgamy: Üýtgeýän ýygylyk tizligini kadalaşdyrmak, rewolýusiýanyň we aýlanmanyň utgaşmasy, ýokarky geçiş ýa-da aşaky geçiriş.
• Wakuum ulgamy (Bezeg örtük enjamlary): Diffuziýa nasosy (goşmaça molekulýar nasos) + Kök nasosy + mehaniki nasos
• Gaz gözegçiligi: Köp taraplaýyn gaz massasynyň akymyna gözegçilik ulgamy
• atingyladyş ulgamy: bezeg örtügi 150 ℃ temperatura gözegçilik PID sazlanylýan we dolandyrylýan
• Akyl gözegçiligi: Doly awtomatiki logiki gözegçiligi gazanmak üçin PLC akylly dolandyryş + HMI doly reňkli sensor interfeýsi
• Duýduryş we gorag: Adaty bolmadyk şertlerde duýduryş we degişli gorag çäreleri durmuşa geçiriň.
Maks.ýük: 100kg
Günde 4 - 6 partiýa
MODULAR KAROUSEL ulgamlary:
Iki aýlawly kiker karusel ýa-da üç aýlawly dişli guty ulgamy
Programma üpjünçiligi:
Useönekeý ulanmak we hyzmat etmek
Duýgur ekrany bilen dolandyryş ulgamy
Maglumat ýazgysy we proses parametrleriniň we akymynyň hakyky wagtda görkezilmegi
El bilen we awtomatiki gözegçilik
Maşyn ölçegleri:
Aýak yzy [mm]: L2300 x W1600 x H1950